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合作案例

清華大學(xué)采購PLUTO-T等離子清洗機清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備，最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機。根據(jù)客戶的技術(shù)要求，提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機，以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月，上海交通大學(xué)采購我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機進(jìn)行晶圓去膠電子科技大學(xué)已采購多臺等離子設(shè)備，包括PLUTO-T等離子清洗機，PLUTO-MD等離子去膠機等，用戶反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

新聞中心

企業(yè)新聞| CORPORATE NEWS

: 等離子去膠機區(qū)別于傳統(tǒng)濕法去膠工藝、兼具綠色環(huán)保的優(yōu)點

等離子去膠機是半導(dǎo)體、微電子、光電子、微納加工等領(lǐng)域的核心精密等離子體處理設(shè)備，核心以氧氣為主要工作氣體，在真空環(huán)境中產(chǎn)生高活性的氧等離子體，實現(xiàn)對晶圓、基片、...
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技術(shù)文章| Technical articles

: 不打磨、不用藥，等離子處理機憑什么打破傳統(tǒng)表面處理？

在工業(yè)制造的微觀世界里，有這樣一種“隱形利器”——它不依賴蠻力打磨，不使用化學(xué)藥劑，僅憑一束無形的等離子體，就能讓普通材料的表面實現(xiàn)“質(zhì)的飛躍”。它就是等離子處理機，一種藏在眾多產(chǎn)品背后，默默優(yōu)化性能、解決生產(chǎn)痛點的特殊設(shè)備，從日常接觸的塑料件、電子元件，到制造中的精密組件，都有它的身影。很多人對“等離子”的認(rèn)知停留在科幻場景中，實則它是物質(zhì)除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種形態(tài)，由高能電子、離子、自由基等活性粒子組成，兼具粒子性與波動性。而等離子處理機，就是通過特定技術(shù)將普通氣...
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應(yīng)用案例

01 等離子清洗
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進(jìn)行超清洗。

圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
02 等離子去膠
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。

圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
03 等離子活化改性
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；

圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
04 等離子刻蝕
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

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