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合作案例

清華大學(xué)采購PLUTO-T等離子清洗機(jī) 清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備，最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)。根據(jù)客戶的技術(shù)要求，提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)，以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月，上海交通大學(xué)采購我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠電子科技大學(xué)已采購多臺(tái)等離子設(shè)備，包括PLUTO-T等離子清洗機(jī)，PLUTO-MD等離子去膠機(jī)等，用戶反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機(jī)物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

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企業(yè)新聞| CORPORATE NEWS

: 臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)可適配精密材料的處理需求

臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)是一種體積緊湊、適用于實(shí)驗(yàn)室或小批量生產(chǎn)的等離子體表面處理設(shè)備。它通過在密閉真空腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體，對(duì)材料表面進(jìn)行清潔、活化、刻蝕或鍍膜，無...
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技術(shù)文章| Technical articles

: 國產(chǎn)等離子清洗機(jī)：核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)與行業(yè)應(yīng)用詳解

等離子清洗機(jī)是一種利用氣體等離子體進(jìn)行表面處理的設(shè)備，它通過能量轉(zhuǎn)換技術(shù)將氣體轉(zhuǎn)化為活性高的等離子體，這些等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，實(shí)現(xiàn)超清洗、活化、刻蝕等處理效果。作為干法處理設(shè)備，等離子清洗機(jī)全程無需化學(xué)溶劑，在干燥環(huán)境下完成處理，樣品處理后可直接進(jìn)入下一道工序。01國產(chǎn)等離子清洗機(jī)的技術(shù)特色國產(chǎn)等離子清洗機(jī)在技術(shù)上實(shí)現(xiàn)了顯著突破，采用高頻電源驅(qū)動(dòng)和智能控制系統(tǒng)，大大提升了清洗效率與穩(wěn)定性。設(shè)備利用氣體作為處理介質(zhì)，有效避免了樣品二次污染，其清洗能力可達(dá)分子級(jí)，能夠...
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應(yīng)用案例

01 等離子清洗
等離子清洗特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進(jìn)行超清洗。

圖為PLUTO-T等離子清洗機(jī)對(duì)陶瓷基板上銀氧化層的清洗實(shí)例。
02 等離子去膠
等離子清洗機(jī)可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。

圖為PLUTO-MD等離子去膠機(jī)對(duì)PCB板和硅片的去膠實(shí)例。
03 等離子活化改性
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強(qiáng)表面粘附性、浸潤性、相容性；

圖為PLUTO-M對(duì)線路板、橡膠管和手機(jī)膜的表面改性實(shí)例。
04 等離子刻蝕
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

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