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合作案例

清華大學采購PLUTO-T等離子清洗機清華大學調研了眾多等離子表面處理設備，最終選擇了上海沛沅生產的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機。根據(jù)客戶的技術要求，提供了可以滿足老師所有技術參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機，以下為該設備的安裝調試圖。
上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設備 2020年12月，上海交通大學采購我司PLUTO-MC沉積鍍膜設備。該設備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩(wěn)定性與可重復性。
電子科技大學采用Pluto-MD等離子去膠機進行晶圓去膠電子科技大學已采購多臺等離子設備，包括PLUTO-T等離子清洗機，PLUTO-MD等離子去膠機等，用戶反饋良好。主要涉及的應用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導體樣品表面有機物的去除、多功能微納結構寬帶吸收器的表面處理等等。

新聞中心

企業(yè)新聞| CORPORATE NEWS

: 小型等離子清洗機的核心價值與使用要點分析

在精密制造、生物醫(yī)療、電子封裝等領域，表面處理質量直接影響產品性能。傳統(tǒng)清洗方式常因化學殘留、表面損傷等問題難以滿足高精度需求，而小型等離子清洗機憑借其獨特的物...
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技術文章| Technical articles

: 實驗室等離子清洗機核心“等離子體產生+活性粒子作用”

實驗室等離子清洗機的核心功能，是利用等離子體的高能活性粒子，對材料表面進行物理轟擊和化學反應，實現(xiàn)表面污染物去除、表面活化、表面刻蝕等處理效果。其核心作用圍繞“微觀潔凈、表面改性、科研適配”展開，具體可分為三類：微觀污染物精準去除。這是最基礎的核心功能。它能去除材料表面的有機油污、殘留雜質、弱吸附塵埃等微觀污染物——這些污染物往往難以通過傳統(tǒng)清洗方式清除，卻會嚴重影響實驗精度。比如半導體晶片表面的有機殘留、生物載玻片的油污、高分子材料的表面雜質等，都能通過等離子體的氧化分解和...
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應用案例

01 等離子清洗
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進行超清洗。

圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
02 等離子去膠
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學元件、半導體元件表面的光阻材料等。

圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
03 等離子活化改性
改善粘合力-用于光學元件、生物醫(yī)學、封裝領域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；

圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
04 等離子刻蝕
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。