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臺式真空等離子清洗機是一種體積緊湊、適用于實驗室或小批量生產的等離子體表面處理設備。它通過在密閉真空腔體內產生等離子體，對材料表面進行清潔、活化、刻蝕或鍍膜，無...
[查看詳情]技術文章| Technical articles
等離子清洗機是實驗室里提升材料表面活性、增強粘接或涂層附著力的“神助攻”。但用不好，不僅效果打折，還可能傷機器、存隱患。別擔心，這份接地氣的“保姆級”操作和保養指南，讓你輕松上手，用得省心又長久！一、上手第一步：開機前的“熱身運動”環境檢查：通風要好：機器必須放在通風良好的地方，最好在通風櫥內或連接排氣管道。清洗時會產生少量臭氧等氣體，別讓它們在實驗室“串門”。電源穩定：插頭插穩，電壓符合要求(通常是220V)，別跟大功率設備(比如烘箱、馬弗爐)搶插座，避免電壓不穩“罷工”。...
[查看詳情]應用案例
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料等都能很好地進行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學元件、半導體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
改善粘合力-用于光學元件、生物醫學、封裝領域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；
圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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